亞皮秒紫外波長短，脈寬窄，材料吸收紫外光比吸收紅外光更容易，紫外光子直接打斷PVD鍍膜材料表面的分子鍵，這種方式不會產(chǎn)生高的熱量，俗稱“冷加工”，主要采用紫外激光(波長355nm)，加工出來的部件具有光滑的邊緣和不傷玻璃基材等優(yōu)點。紫外亞皮秒PVD清除機非常成熟，直接利用激光器出光后通過擴束調(diào)整后連接到振鏡的光學系統(tǒng)，通過激光光束照射到工件表面，氣化掉表面PVD鍍膜。

光清洗系統(tǒng)針對PVD工具清洗，可以有效清除多層涂層，不會產(chǎn)生機械損傷，對焊縫或密封表面無損傷，減少加熱循環(huán)時間，綠色環(huán)保無需介質(zhì)、化學試劑，不產(chǎn)生次級污染物，無需清理，一般反應室清洗在短短幾個小時內(nèi)即可完成。

激光清洗技術甚至可以清除最難清洗的氣相沉淀層，包括類似金剛石碳涂層和其他耐磨涂層。捆綁式激光的威力能夠?qū)⑦@些“防彈涂層”蒸發(fā)汽化。最終，精密金屬基材能夠被安全且無損地清除干凈，且不產(chǎn)生殘渣。等離子體室內(nèi)可以手動或半自動地進行有效的激光去涂層同時清理干凈。

PVD物理氣相沉積指利用物理過程實現(xiàn)物質(zhì)轉移，將原子或分子由源轉移到基材表面上的過程。它的作用是可以使某些有特殊性能（強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能。 然而在這個過程中，噴的漆層不僅粘附到目標表面，還要與周圍包括用于在反應室內(nèi)把持零件的工具和夾具的表面整合起來。激光清洗系統(tǒng)可以高效的清潔PVD工具表面，避免過量的PVD噴涂材料會帶來不良影響，如降低工件公差，反應室密封性差，導致濕度上升、加熱時間延長。